近年來，國內半導體相關企業不斷受到外圍以美方為主導的對我國半導體產業的制裁，一旦半導體設備或相關的零件禁止出口到國內，將很大程度阻礙我們在半導體行業的短期發展，所以在關鍵半導體零件上我們國內的企業急需突破相關技術壁壘，實現半導體設備及相關零件的自主可控。
這對國內相關企業來說，半導體精密零部件研發及加工是個巨大的挑戰，同時也是龐大的商業機會
據半導體產業相關調查公司資料顯示，半導體設備的關鍵子系統主要分為八大類：
氣液流量控制系統
真空系統
制程診斷系統
光學系統
電源氣體反應系統
熱管理系統
晶圓傳送系統
其他集成系統及關鍵組件
每個子系統亦由數量龐大的零部件組合而成，不同的半導體設備的核心零部件也有所不同，例如：光刻機的核心零部件包括工作臺、投影物鏡、光源 等，而等離子體真空設備（PVD、CVD、刻蝕）的核心零部件包括 MFC、射頻電源、真空泵、ESC 等。
半導體設備企業采購的零部件通常包括機械類、機電一體類、電氣類、氣體輸送系統類、真空系統 類、附屬設備等。參考部分半導體設備公司的招股說明書，其中，腔體、金屬加工件、EFEM 等精 密機加件的國產供應商包括靖江先鋒（參考沈陽拓荊、中微公司的招股說明書）、沈陽富創（參考 公司官方網站）、兆恒眾力等，而真空系統、真空泵、射頻電源、機械手等通用部件都是采購 MKS、AE、愛德華、Rorze 等外資品牌。
核心零部件作為半導體設備的主要組成部分，與半導體材料、EDA 軟件共同支撐著半導體產業鏈中 設計、制造、封測等環節，從而支撐全球經濟數字化進程。半導體核心零部件與半導體原材料一 樣，盡管市場規模小，卻決定了半導體設備的核心構成、主要成本、優質性能等。
半導體零部件的競爭格局主要被美國、日本及歐洲企業壟斷，行業集中度較高據ic world 2020數據顯示20類半導體核心零部件產品的44家供應商中，有大概20家是美國供應商，16家是日本供應商，歐洲有5家，韓國有2家。
在歷屆半導體集成電路零部件產業峰會上，與會企業表示要促進我國半導體集成電路零部件產業的發展， 增強零部件企業和下游企業之間的合作，構建良性的產業生態，加快零部件國產化進程。通過整合全國集成電路零部件領域創新資源，緩解“卡脖子”問題，實現關鍵核心技術自主可控，為我國集成 電路技術創新發展做出貢獻。
目前國內雖然已經有部分企業實現了部分零件國產化，但是在一些關鍵性的零件上我們急需加把勁，加快速度實現國產化，實現自主可控。
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